Geniş Bir Sıcaklık Çalışma Aralığı İçin Entegre Silikon Basınç Algılayıcısı
Ramazan ÇOBAN Geniş Bir Sıcaklık Çalışma Aralığı İçin Entegre Silikon Basınç Algılayıcısı YÜKSEK LİSANS TEZİ ELEKTRONİK MÜHENDİSLİĞİ ANABİLİM DALI TEZ DANIŞMANI Yrd. Doç. Dr. Vasile BEŞLİU ÖZET İnce bir tek kristalli zar ve daha kalın bir silikon kenardan oluşan minyatür bir katı-hal piezoresistif basınç algılayıcısı tasarlandı ve çalışma ilkeleri ve imalat teknolojisi geniş bir şekilde […]